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S-Seal 제품 포트폴리오

반도체 및 석유화학 등에서 진공 및 압력유지, 누출방지 등의 목적으로 사용되는 밀봉(Sealing)장치로서 "윤활유와 자성유체를 사용하지 않는 무 윤활 무 자성유체 신기술" 을 적용하고 있습니다.

씰링크의 독자적인 신기술은 고온, 고압, 고진공 및 화학가스 사용 등의 운전조건에서 사용수명 연장을 기대할 수 있으며 ESG 경영활동에도 도움이 됩니다.

  • 로타리 피드스루

    RF Rotary Feedthrongh

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 로타리 유니온 (조인트)

    RU Rotary Union (Joint)

    유체의 공급과 배출용 회전 밀봉장치

  • 리니어 피드스루

    LF Linear Feedthrough

    진공 및 압력용 왕복축 밀봉장치

  • 트랜스퍼 로봇

    Transfer Robot

  • R축

    Rotational Axis Motion

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 스핀들

    Spindles

    회전 및 왕복축 이동장치

  • 진공 부품

    Vacuum Parts

    회전축에 사용되는 진공부품

  • 가스누출 모니터링

    Leak Monitoring

    석유화학산업 가스누출 실시간 모니터링

  • 오링 및 씰

    O-Ring & Seals

    진공 및 압력용 오링과 씰

로타리 피드스루(RF)

  • 제품설명

    로타리 피드스루(Rotary Feedthrough)는 대기환경(Atmosphere environment)과 진공환경(Vacuum environment)의 다른 환경에서 회전운동을 전달시키는 정밀 기계장치 입니다. 전통적인 메카니컬씰이나 자성유체씰은 마찰을 줄이기 위해 윤활유나 자성유체 등의 윤활제를 사용하는 면접촉 방식의 밀봉기술을 적용하고 있습니다. 반면 씰링크의 로타리 피드스루 제품은 씰링크가 독자적으로 개발한 윤활유나 자성유체를 사용하지 않는 선접촉 방식의 밀봉기술을 활용하기 때문에 정밀한 밀봉(Sealing)이 가능합니다.

    씰링크는 솔리드(solid)축 또는 중공(Hollow)축이 있는 표준 회전식 피드스루 제품과 압력, 진공, 속도 및 온도 등 장비의 운전환경에 최적화한 맞춤형 피스스루 제품을 제공합니다. 따라서 장비를 추가할 필요가 없이 기존 피드스루를 씰링크 제품으로 대체할 수 있습니다.

    씰링크의 중공(Hollow)축형 로타리 피드스루는 비 자성 샤프트 또는 튜브, 드라이브 샤프트 등과 같은 특수한 모양의 샤프트를 사용하는 용도에 적합합니다.

    제품의 특징

    ① 씰링크의 독자적인 신기술을 적용하므로 정밀한 밀봉이 가능합니다.

    ② 고진공과 고압의 운전환경에 모두 적용할 수 있습니다.

    ③ 반응성 가스, 불활성 가스, 화학물질, 오일, 물 및 냉각수 등과 같은 가스 및 액체 운전환경 모두 적용 할 수 있습니다.

    ④ 최대 150C°/300°F 까지 냉각장치 없이 적용할 수 있습니다(냉각 시스템 적용시 최대 400C°/750°F 까지 적용 가능합니다.)

    ⑤ 윤활제를 사용하지 않기 때문에 윤활유 등 누출로 인한 폭발사고를 방지합니다.

    ⑥ 심플하고 컴팩트한 구조로서 변경 및 유지보수가 간편하며 그로 인해 유지관리 비용을 절감시킬 수 있고 설치공간을 줄일 수 있습니다.

    ⑦ 솔리드 샤프트와 할로우 샤프트 타입 모두 적용 가능합니다.

    ⑧ 장비의 운전환경에 최적화 시켜 설계가 가능합니다.

    ⑨ 실시간 누출 모니터링 시스템 적용이 가능합니다.

  • 모델그룹

    로타리 피드스루(Rotary Feedthrough) 모델에는 solid 타입의 샤프트가 장착되는 RF SS타입, hollow 타입의 샤프트 장착이 없는 RF HS, 석유화학 산업에 적합한 카트리지 모양의 RFC 타입과 single 씰 모양의 RFS 타입이 있습니다.

    • RF SS type

      솔리드 샤프트가 장착된 가장 일반적인 회전축 밀봉장치로서 반도체, 디스플레이 및 제약산업 등에서 범용성이 높습니다.

    • RF HS type

      중공(hollow) 모양의 회전축으로서 일반적인 회전축 밀봉장치로서 반도체 및 디스플레이 산업에 범용성이 높습니다.

    • RFC type

      중공(hollow) 모양의 회전축으로서 석유화학, 제약/식품 산업에 적용되며 소음이 적고 파우더 챔버에 적합합니다.

    • RFS type

      중공(hollow) 모양의 회전축으로서 석유화학, 제약/식품 산업에 적용되며 소음이 적고 수리 및 교체 등이 편리 합니다.

  • 제품 운전규격
    진공값 Max. 10-8 Torr, Max. 10-6 Pa
    압력값 Max. 50 bar (PV Limits: Max. 50)
    누출값 진공값 Up to 7.5 x 10-10 Pa·m3/s by Helium Leak Detector
    압력값 Up to 0.5 psi/min by Nitrogen Gas
    온도 범위

    -20 ~ 150°C(-4 ~ +300°F) without cooling system

    -20 ~ 400°C(-4 ~ +750°F) with optional cooling system

    물질 타입

    Gas and Liquid (Reactive Gas, Inert Gas, Water, Oil, Steam, Air, Chemical,
    Coolant, and a variety of other media)

    속도값 Max. 15 m/s
    샤프트 지름 06 ~ 01,200mm
    소재 하우징 304 or 316L Stainless Steel or others
    샤프트 304 or 316L Stainless Steel or others
    베어링 SUJ2 High Carbon Chrome Bearing Steel or others
  • 응용분야
    • 반도체 및 디스플레이 산업

      산화(퍼니스), 식각, 스퍼터, 이온주입, 증착(CVD, MOCVD, LPCVD, PECVD, PCD, ALD), 연마(CMP), 열처리(퍼니스), 트랜스퍼 모듈(LPM, ATM, VTM 로봇 등), 세정장비, OLED 장비, LCD 장비, FPD 장비, Autoclave 등

    • 석유 화학, 제약/바이오, 정밀화학, 해양, 철강 및 일반 기계 산업

      믹서, 교반기, 반응기, 저장조, 냉각조, 블랜더, 드라이어, 블로우어 등

    • 2차 전지산업

      믹서, 전해액 주입기 등