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S-Seal 제품 포트폴리오

반도체 및 석유화학 등에서 진공 및 압력유지, 누출방지 등의 목적으로 사용되는 밀봉(Sealing)장치로서 "윤활유와 자성유체를 사용하지 않는 무 윤활 무 자성유체 신기술" 을 적용하고 있습니다.

씰링크의 독자적인 신기술은 고온, 고압, 고진공 및 화학가스 사용 등의 운전조건에서 사용수명 연장을 기대할 수 있으며 ESG 경영활동에도 도움이 됩니다.

  • 로타리 피드스루

    RF Rotary Feedthrongh

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 로타리 유니온 (조인트)

    RU Rotary Union (Joint)

    유체의 공급과 배출용 회전 밀봉장치

  • 리니어 피드스루

    LF Linear Feedthrough

    진공 및 압력용 왕복축 밀봉장치

  • 트랜스퍼 로봇

    Transfer Robot

  • R축

    Rotational Axis Motion

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 스핀들

    Spindles

    회전 및 왕복축 이동장치

  • 진공 부품

    Vacuum Parts

    회전축에 사용되는 진공부품

  • 가스누출 모니터링

    Leak Monitoring

    석유화학산업 가스누출 실시간 모니터링

  • 오링 및 씰

    O-Ring & Seals

    진공 및 압력용 오링과 씰

Notice: Undefined index: 리니어 피드스루 in /sealink/www/SEALINK/mvc/UtillLangModel.php on line 5850

  • 제품설명

    리니어 피드스루(Linear Feedthrough)는 대기환경(Atmosphere environment)과 진공환경(Vacuum environment)의 다른 환경에서 왕복운동을 전달시키는 정밀 기계장치입니다.

    리니어 피드스루는 마찰을 줄이기 위한 윤활유가 필요한 기존 자성유체 씰의 접촉 방식과는 달리 마찰을 줄이기 위한 선접촉 방식의 밀봉기술에 의해 밀봉됩니다. 따라서 씰링크의 S-Seal은 자성유체 공급이 필요하지 않습니다.

    압력, 진공, 스트로크, 속도 및 온도 요구 사항과 같은 다양한 옵션으로 표준 리니어 피드스루의 커스터마이징 제품을 제공합니다. 따라서 추가 장비 없이 기존 피드스루를 씰링크 제품으로 대체가 가능합니다.

    제품의 특징

    ① 씰링크의 독자적인 신기술을 적용하므로 정밀한 밀봉이 가능합니다.

    ② 회전과 왕복운동을 동시에 수행할 수 있습니다.

    ③ 왕복운동시 진공유지를 위한 벨로우즈를 사용하지 않습니다.

    ④ 벨로우즈를 사용하지 않아 사이즈를 작게 할 수 있고 모양이 간단 합니다.

    ⑤ 고진공과 고압의 운전환경에 모두 적용할 수 있습니다.

    ⑥ 반응성 가스, 불활성 가스, 화학물질, 오일, 물 및 냉각수 등과 같은 가스 및 액체 운전환경 모두 적용 할 수 있습니다.

    ⑦ 최대 150C°/300°F 까지 냉각장치 없이 적용할 수 있습니다(냉각 시스템 적용시 최대 400C°/750°F 까지 적용 가능합니다.)

    ⑧ 정밀한 조도관리가 가능합니다.

  • 모델그룹

    리니어 피드스루(Linear Feedthrough) 모델에는 왕복운동만 적용되는 LF 타입, 회전운동과 왕복운동을 동시에 수행하는 RLF 타입이 있습니다. 씰링크의 리니어 피드스루 사용시 메탈벨로우즈를 사용할 필요가 없어 사이즈가 컴팩트하고 수리 및 유지관리가 용이 합니다.

    • LF type

      왕복운동에 사용되는 리니어 피드스루는 반도체 장비의 load port module 등에 적합합니다.

    • RLF type

      회전운동과 왕복운동을 동시에 수행하는 RLF 타입은 챔버커버 등의 장치에 적합합니다.

  • 벨로우즈 기반의 제품과 씰링크 리니어 피드스루 방식 비교

    기존 자성유체를 사용하는 리니어 피드스루는 진공유지를 위해 벨로우즈와 LM가이드가 필요한 반면 씰링크 리니어 피드스루는 자성유체를 사용하지 않기때문에 벨로우즈가 필요하지 않으며, 규격도 간단합니다.

    Magnetic seal + Metal Bellows S-Seal RLFrotary&linear Feedthrough model
    구성품 마그네틱 씰 + 벨로우즈 + LM가이드 씰링크 리니어 피드스루 제품
    크기 마크네틱 씰과 벨로우즈를 포함 (공간차지 큼) 씰링 유닛 하나 (공간차지 작음)
    마그네틱 씰 회전운동을 위해 필수적 자성유체 없음
    메탈벨로우즈 진공상태 유지를 위해 필수적 필요없음
    제품형상
  • 제품 운전규격
    진공값 Max. 10-8 Torr, Max. 10-6 Pa
    압력값 Max. 50 bar (PV Limits: Max. 50)
    누출값 진공값 Up to 7.5 x 10-10 Pa·m3/s by Helium Leak Detector
    압력값 Up to 0.5 psi/min by Nitrogen Gas
    샤프트 운동 간격 0 to 4,000mm
    온도 범위

    -20 ~ 150°C(-4 ~ +300°F) without cooling system

    -20 ~ 400°C(-4 ~ +750°F) with optional cooling system

    물질 타입

    Gas and Liquid (Reactive Gas, Inert Gas, Water, Oil, Steam, Air, Chemical,
    Coolant, and a variety of other media)

    속도값 Max. 15 m/s
    샤프트 지름 06 ~ 01,100mm
    소재 하우징 304 or 316L Stainless Steel or others
    샤프트 304 or 316L Stainless Steel or others
    베어링 SUJ2 High Carbon Chrome Bearing Steel or others
  • 응용분야
    • 반도체 및 디스플레이 산업

      트랜스퍼 로봇, 물류 및 이송장치