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S-Seal 제품 포트폴리오

반도체 및 석유화학 등에서 진공 및 압력유지, 누출방지 등의 목적으로 사용되는 밀봉(Sealing)장치로서 "윤활유와 자성유체를 사용하지 않는 무 윤활 무 자성유체 신기술" 을 적용하고 있습니다.

씰링크의 독자적인 신기술은 고온, 고압, 고진공 및 화학가스 사용 등의 운전조건에서 사용수명 연장을 기대할 수 있으며 ESG 경영활동에도 도움이 됩니다.

  • 로타리 피드스루

    RF Rotary Feedthrongh

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 로타리 유니온 (조인트)

    RU Rotary Union (Joint)

    유체의 공급과 배출용 회전 밀봉장치

  • 리니어 피드스루

    LF Linear Feedthrough

    진공 및 압력용 왕복축 밀봉장치

  • 트랜스퍼 로봇

    Transfer Robot

  • R축

    Rotational Axis Motion

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 스핀들

    Spindles

    회전 및 왕복축 이동장치

  • 진공 부품

    Vacuum Parts

    회전축에 사용되는 진공부품

  • 가스누출 모니터링

    Leak Monitoring

    석유화학산업 가스누출 실시간 모니터링

  • 오링 및 씰

    O-Ring & Seals

    진공 및 압력용 오링과 씰

로타리 유니온 (조인트)

  • 제품설명

    로타리 유니온(Rotary union 또는 Rotary joint)은 진공환경에서 유체(액체 또는 가스물질)를 고정소스(stationary source)에서 기계의 회전부(rotation part)로 전달하여 유체를 공급하거나 정지시킬 수 있는 정밀 기계장치 입니다.

    로타리 유니온의 회전방식은 마찰을 줄이기 위해 윤활유가 필요한 기존 메카니컬 씰의 면 접촉 방식과는 달리 마찰을 줄이기 위한 선접촉 방식의 밀봉기술을 적용하고 있습니다. 따라서 씰링크의 S-Seal은 윤활유 공급이 필요하지 않으며 윤활유 누출로 인한 폭발 위험이 없습니다.

    씰링크는 하나(single port) 또는 다중(multi port)포트를 생산하고 있으며, 액체와 가스유체 모두 다른 방식의 물질을 동시에 전달합니다. 또한 압력, 진공, 속도, 포트 수 및 온도와 같은 다양한 운전환경에 최적화한 제품도 공급할 수 있습니다.

    따라서 추가 장비 없이 씰링크의 제품으로 기존 로타리 유니온을 대체할 수 있습니다.

    제품의 특징

    ① 씰링크의 독자적인 신기술을 적용하므로 정밀한 밀봉이 가능합니다.

    ② 고진공과 고압의 운전환경에 모두 적용할 수 있습니다.

    ③ 반응성 가스, 불활성 가스, 화학물질, 오일, 물 및 냉각수 등과 같은 가스 및 액체 운전환경 모두 적용 할 수 있습니다.

    ④ 최대 150C°/300°F 까지 냉각장치 없이 적용할 수 있습니다(냉각 시스템 적용시 최대 400C°/750°F 까지 적용 가능합니다.)

    ⑤ 정밀한 조도관리가 가능합니다.

    ⑥ Drain port가 없어 리크발생을 예방할 수 있습니다.

    ⑦ 몸체 분할이 없는 일체형 몸체로 구성되어 있습니다.

    ⑧ 2 port에서 14port까지 다양하게 제작할 수 있습니다.

  • 모델그룹

    로타리 유니온(Rotary Union) 모델에는 solid 타입의 샤프트가 장착되는 RU SS타입과 hollow 타입의 샤프트 장착이 없는 RU HS 타입이 있습니다.
    특히 씰링크의 로타리 유니온 제품은 기존 반도체 장비에 장착된 규격과 동일한 외관규격으로 공급되고 있습니다.

    • RU SS type

      솔리드 샤프트가 장착된 가장 일반적인 로타리 유니온 장치로서 반도체 산업의 CMP 장비에 적용되고 있습니다.

    • RU HS type

      중공(hollow) 모양의 회전축으로서 반도체 산업 장비에서 다양하게 사용되고 있습니다.

  • 제품 운전규격
    진공값 Max. 10-8 Torr, Max. 10-6 Pa
    압력값 Max. 50 bar (PV Limits: Max. 50)
    누출값 진공값 Up to 7.5 x 10-10 Pa·m3/s by Helium Leak Detector
    압력값 Up to 0.5 psi/min by Nitrogen Gas
    포트 개수 1 ~ 14 ports
    온도 범위

    -20 ~ 150°C(-4 ~ +300°F) without cooling system

    -20 ~ 400°C(-4 ~ +750°F) with optional cooling system

    물질 타입

    Gas and Liquid (Reactive Gas, Inert Gas, Water, Oil, Steam, Air, Chemical,
    Coolant, and a variety of other media)

    속도값 Max. 15 m/s
    샤프트 지름 015 ~ 01,100mm
    소재 하우징 304 or 316L Stainless Steel or others
    샤프트 304 or 316L Stainless Steel or others
    베어링 SUJ2 High Carbon Chrome Bearing Steel or others
  • 응용분야
    • 반도체 및 디스플레이 산업

      CMP 장비, 챔버내 가스 및 액체공급 장치

    • 방위산업 산업

      방위산업 무기체계 회전부 cooling 장치