Close

S-Seal 제품 포트폴리오

반도체 및 석유화학 등에서 진공 및 압력유지, 누출방지 등의 목적으로 사용되는 밀봉(Sealing)장치로서 "윤활유와 자성유체를 사용하지 않는 무 윤활 무 자성유체 신기술" 을 적용하고 있습니다.

씰링크의 독자적인 신기술은 고온, 고압, 고진공 및 화학가스 사용 등의 운전조건에서 사용수명 연장을 기대할 수 있으며 ESG 경영활동에도 도움이 됩니다.

  • 로타리 피드스루

    RF Rotary Feedthrongh

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 로타리 유니온 (조인트)

    RU Rotary Union (Joint)

    유체의 공급과 배출용 회전 밀봉장치

  • 리니어 피드스루

    LF Linear Feedthrough

    진공 및 압력용 왕복축 밀봉장치

  • 트랜스퍼 로봇

    Transfer Robot

  • R축

    Rotational Axis Motion

    진공 및 압력용 회전축 밀봉장치

  • 스핀들

    Spindles

    회전 및 왕복축 이동장치

  • 진공 부품

    Vacuum Parts

    회전축에 사용되는 진공부품

  • 가스누출 모니터링

    Leak Monitoring

    석유화학산업 가스누출 실시간 모니터링

  • 오링 및 씰

    O-Ring & Seals

    진공 및 압력용 오링과 씰

진공부품 (Vacuum Parts, VP)

  • 모델그룹

    씰링크의 진공부품은 반도체, 디스플레이 및 석유화학 산업에 사용되는 밀폐장치의 부품으로서 shaft, flange, housing, clamp 등이 있습니다.씰링크의 스핀들은 회전용 밀폐장치 기술을 동일하게 적용하고 있으므로 매우 정밀하게 가공됩니다. 압력, 진공, 스트로크, 속도 및 온도 요구 사항과 같은 다양한 옵션으로 커스터마이징 제품을 제공합니다.

    • Shaft

      RF SS 타입에 적용되는 샤프트로서 다양한 모델을 보유하고 있습니다.

    • Flange (ISO/KF)

      Customized 타입, ISO 타입과 KF 타입등이 있으며 챔버와 체결하는 mounting 방식에 따라 결정 됩니다.

    • Housing

      회전축의 고정부로서 cooling여부, gas 사용여부 등에 따라 결정됩니다.

    • Clamp (ISO/KF)

      챔버 또는 모터부와 연결시키는 부품으로서 샤프트의 규격에 따라 결정됩니다.

  • 마운팅 타입

    마운팅(mounting)은 믹서, 챔버 등과 씰링 유니트를 체결하는 부위를 의미합니다. 마운팅 타입은 씰링 유니트의 기능, 체결부 부위 모양, 샤프트 축단의 모양에 따라 결정 됩니다.

    • 플랜지
    • CF 타입
    • Threaded
    • 카트리지
    • 너트
    • KF타입
    • ISO 타입
    샤프트 축단 유형

    샤프트의 축단 유형은 샤프트의 운동형태 (회전운동, 왕복운동, 회전/와복운동)와 모터부로 부터 동력 전달을 위한 연결방식에 따라 유형이 결정됩니다.

    • 무가공

    • D컷

    • 키 홈

    • 스냅링 홈

    • 너트(-)

    • 너트(+)

    • 너트+키홈

    • 텐션나사

    • 너트+키홈

    • 너트+D컷+스냅링

    • 블럭

    • 플랜지타입