씰링크의 R축은 대기환경(Atmosphere environment)과 진공환경(Vacuum environment)의 다른 환경에서 회전운동을 진공환경으로 전달시키는 회전용 정밀 기계장치입니다.

탄성유체윤활원리를 적용한 씰링크의 R축은 진공유지를 위해 사용되는 기존 자성유체(ferrofluid) 방식의 회전축을 자성유체를 사용하지 않는 무자성유체 방식으로 운전하는 신 기술 회전축으로서 반도체 공정의 디퓨젼 퍼니스 장비에 매우 적합합니다.

열처리 장비인 디표젼 퍼니스 장비는 400~800℃의 고온에서 nitride 등의 화학가스가 사용됩니다. 기존 R축은 자성유체에 존재하는 액체가 고온에서 기화하는 현상이 발생할 수 있으며, 화학가스와 반응하여 운전수명을 단축 시킬 수 있으나 씰링크의 R축은 자성유체를 자용하지 않기때문에 상대적으로 수명이 길고 수리 및 유지관리 용이성이 좋습니다.

① 씰링크의 독자적인 신기술을 적용하므로 정밀한 밀봉이 가능합니다.

② 고진공과 고압의 운전환경에 모두 적용할 수 있습니다.

③ 디퓨젼 퍼니스 등의 고온 장비에 적용 할 수 있습니다.

④ 자성유체로 인한 기화현상 등에서 자유롭습니다.

⑤ 글로벌 장비회사의 요구사항 규격을 충족 시킵니다.

⑥ 반응성 가스, 불활성 가스, 화학물질, 오일, 물 및 냉각수 등과 같은 가스 및 액체 운전환경 모두 적용 할 수 있습니다.

⑦ 최대 150C°/300°F 까지 냉각장치 없이 적용할 수 있습니다(냉각 시스템 적용시 최대 400C°/750°F 까지 적용 가능합니다.)

⑧ 글로벌 장비회사의 동심도, 하중 및 back lash, 파티클 수 규격 등을 충족 시킬 수 있습니다.