트랜스퍼 로봇(Transfer Robot)는 대기환경(Atmosphere environment)과 진공환경(Vacuum environment)의 다른 환경에서 왕복운동과 회전운동을 전달시키는 정밀 기계장치 입니다.

탄성유체윤활원리를 적용하여 상하 왕복운동시 진공유지를 위해 사용되는 벨로우즈를 사용하지 않음으로써 벨로우즈의 크랙발생으로 인한 파티클 발생과 누출 문제를 해결하였습니다.

① 씰링크의 독자적인 신기술을 적용하므로 정밀한 밀봉이 가능합니다.

② 회전과 왕복운동을 동시에 수행할 수 있습니다.

③ 왕복운동시 진공유지를 위한 벨로우즈를 사용하지 않습니다.

④ 벨로우즈를 사용하지 않아 사이즈를 작게 할 수 있고 모양이 간단 합니다.

⑤ 고진공과 고압의 운전환경에 모두 적용할 수 있습니다.

⑥ 정밀한 조도관리가 가능합니다.